沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中国科学院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，是北方华创集团下属控股子公司，科创板上市企业（股票代码：688037），专业从事半导体专用设备的研发、生产、销售和服务。

公司深耕半导体专用设备研发制造领域24年，面向前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体三大领域，形成了涂胶、显影、喷胶、去胶、清洗、湿法刻蚀、键合及解键合等八大系列产品，海内外客户500余家。在集成电路前道晶圆加工领域，公司生产的前道涂胶显影设备已成功与光刻机联机运行，物理清洗机已经达到国际先进水平，并成功实现国产替代。

公司多次承担国家重大专项，连续多年获评中国半导体设备行业十强，是国家首批专精特新小巨人企业和国家级制造业单项冠军企业，拥有国家级企业技术中心、省级重点工程实验室和专业技术创新中心等多项荣誉。